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Atomic Nano-Materials and Equipments Co.,Ltd
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华中科技大学
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华中科技大学

　　助力华中科技大学微纳加工平台
　　我司通过大量实验为微纳加工平台众多课题组提供了量身定制的材料解决方案，如氧化铝，氮化铝，氧化钛，氮化钛和其他关键氮化物的前驱源选择，工艺参数优化和光电学性能表征。同时，我司设备的高性价比和卓越的售后服务也获得了课题组老师的一致好评。
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华中科技大学
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产品名称

南昌大学

　　助力南昌大学光伏研究院<br/>

　　南昌大学光伏研究院在以钙钛矿电池为基础的叠层电池领域获得突破性进展，我司提供了关键的ALD氧化物解决方案，替代了传统的磁控溅射方法，使电池的光电学性能都得到大幅提升。
产品名称

北京大学

　　助力北京大学信息科学技术学院<br/>

　　北京大学信息科学技术学院在绝缘栅场效应晶体管的制备工艺和电学性能上取得突破性进展，我司为工艺改良提供了关键的ALD 氮化物钝化层/保护层沉积工艺，该工艺可以更好地保护基底不受后道工艺损伤，该成果发表在IEEE Electron Device Letters上。
产品名称

复旦大学

　　成立研发中心和联合研发平台<br/>

　　2019年，我司的第一台ALD设备入驻了复旦大学微电子学院国家重点实验室，并成立了微电子器件联合研发平台。2年多来，我们在该平台上与微电子学院的众多课题组开展了设备验证，工艺调试、展示，新材料研发和光电学性能表征等诸多合作。同时，我们也为国内外科研机构和工业客户提供了高质量的材料和器件，为原磊走向更广阔的领域打下了坚实的基础。
产品名称

山东大学

　　助力山东大学<br/>

　　山东大学在第2、3代半导体的键合工艺上取得了重大突破，我司提供了关键的低粗糙度氧化物沉积技术，在不改变片甲间压力的情况下使键合良率大幅提升。
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