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山东大学
山东大学在第2、3代半导体的键合工艺上取得了重大突破,我司提供了关键的低粗糙度氧化物沉积技术,在不改变片甲间压力的情况下使键合良率大幅提升。
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Cooperation Case
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Other cooperation cases
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南昌大学
助力南昌大学光伏研究院<br/>
南昌大学光伏研究院在以钙钛矿电池为基础的叠层电池领域获得突破性进展,我司提供了关键的ALD氧化物解决方案,替代了传统的磁控溅射方法,使电池的光电学性能都得到大幅提升。
南昌大学光伏研究院在以钙钛矿电池为基础的叠层电池领域获得突破性进展,我司提供了关键的ALD氧化物解决方案,替代了传统的磁控溅射方法,使电池的光电学性能都得到大幅提升。
北京大学
助力北京大学信息科学技术学院<br/>
北京大学信息科学技术学院在绝缘栅场效应晶体管的制备工艺和电学性能上取得突破性进展,我司为工艺改良提供了关键的ALD 氮化物钝化层/保护层沉积工艺,该工艺可以更好地保护基底不受后道工艺损伤,该成果发表在IEEE Electron Device Letters上。
北京大学信息科学技术学院在绝缘栅场效应晶体管的制备工艺和电学性能上取得突破性进展,我司为工艺改良提供了关键的ALD 氮化物钝化层/保护层沉积工艺,该工艺可以更好地保护基底不受后道工艺损伤,该成果发表在IEEE Electron Device Letters上。
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