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复旦大学
2019年,我司的第一台ALD设备入驻了复旦大学微电子学院国家重点实验室,并成立了微电子器件联合研发平台。2年多来,我们在该平台上与微电子学院的众多课题组开展了设备验证,工艺调试、展示,新材料研发和光电学性能表征等诸多合作。同时,我们也为国内外科研机构和工业客户提供了高质量的材料和器件,为原磊走向更广阔的领域打下了坚实的基础。
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Other cooperation cases
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南昌大学
助力南昌大学光伏研究院<br/>
南昌大学光伏研究院在以钙钛矿电池为基础的叠层电池领域获得突破性进展,我司提供了关键的ALD氧化物解决方案,替代了传统的磁控溅射方法,使电池的光电学性能都得到大幅提升。
南昌大学光伏研究院在以钙钛矿电池为基础的叠层电池领域获得突破性进展,我司提供了关键的ALD氧化物解决方案,替代了传统的磁控溅射方法,使电池的光电学性能都得到大幅提升。
北京大学
助力北京大学信息科学技术学院<br/>
北京大学信息科学技术学院在绝缘栅场效应晶体管的制备工艺和电学性能上取得突破性进展,我司为工艺改良提供了关键的ALD 氮化物钝化层/保护层沉积工艺,该工艺可以更好地保护基底不受后道工艺损伤,该成果发表在IEEE Electron Device Letters上。
北京大学信息科学技术学院在绝缘栅场效应晶体管的制备工艺和电学性能上取得突破性进展,我司为工艺改良提供了关键的ALD 氮化物钝化层/保护层沉积工艺,该工艺可以更好地保护基底不受后道工艺损伤,该成果发表在IEEE Electron Device Letters上。
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